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[发明专利]传送机械手-CN202011029712.8在审
发明人：周亮 -专利权人：北京京仪自动化装备技术有限公司
申请日： 2020-09-27 - 公布日： 2020-12-25 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明涉及半导体加工技术领域，提供一种传送机械手，包括：基体、电源和静电发生装置，基体包括用于支撑晶圆的支撑部，所述支撑部上设置有预设路径；电源包括正极端和负极端；静电发生装置连接于电源，静电发生装置包括正电荷端头和电子端头本发明提出的传送机械手，利用库仑力对晶圆进行吸附，可实现多种规格的晶圆的传送，正电荷端头与电子端头沿同一预设路径交替设置，使得电场均匀分布，有助于晶圆均匀受力，保证晶圆稳定传送，还有助于减小对晶圆的损伤
传送机械手

[发明专利]传送机械手-CN202011029670.8在审
发明人：周亮 -专利权人：北京京仪自动化装备技术有限公司
申请日： 2020-09-27 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明涉及半导体加工技术领域，提供一种传送机械手，包括：基体、电源和静电发生装置，基体包括用于支撑晶圆的支撑部；静电发生装置，包括正电荷端头和电子端头，所述正电荷端头和所述电子端头均设于所述支撑部，所述电源用于向所述正电荷端头和所述电子端头供电本发明提出的传送机械手，利用库仑力对晶圆进行吸附，可实现多种规格的晶圆的传送，可降低生产成本。
传送机械手

[发明专利]传送机械手-CN202011029264.1有效
发明人：周亮 -专利权人：北京京仪自动化装备技术有限公司
申请日： 2020-09-27 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明涉及半导体加工技术领域，提供一种传送机械手，包括：基体、电源、静电发生装置和换向部件，基体包括用于支撑晶圆的支撑部；电源包括正极端和负极端；静电发生装置连接于电源，静电发生装置包括正电荷端头和电子端头本发明提出的传送机械手，利用库仑力对晶圆进行吸附，可实现多种规格的晶圆的传送，还可通过换向部件消除残余的库仑力，可降低生产成本并减小对晶圆的损伤。
传送机械手

[实用新型]传送机械手-CN201320476317.3有效
发明人：张宇波 -专利权人：东莞市井田自动化设备有限公司
申请日： 2013-08-06 - 公布日： 2014-02-12 - 主分类号： B25J9/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及冲压自动化技术领域，尤指一种传送机械手，包括机架，所述机架设有支撑臂以及可驱使支撑臂上下移动的升降传动机构，所述支撑臂的数量为两个，两个支撑臂均设有可对冲压件进行夹持的夹具，所述升降传动机构包括安装于机架的左升降传动丝杆右升降传动丝杆以及可驱动左升降传动丝杆和右升降传动丝杆同步旋转的升降传动电机，左升降传动丝杆螺纹连接有左升降螺母座，右升降传动丝杆螺纹连接有右升降螺母座，左升降螺母座和右升降螺母座分别与两个支撑臂连接；本实用新型提供了一种传送机械手，其结构简单，冲压件在传送过程中受力均衡，传输稳定可靠。
传送机械手

[实用新型]传送机械手-CN202022146606.X有效
发明人：周亮 -专利权人：北京京仪自动化装备技术有限公司
申请日： 2020-09-27 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体加工技术领域，提供一种传送机械手，包括：基体、电源和静电发生装置，基体包括用于支撑晶圆的支撑部，所述支撑部上设置有预设路径；电源包括正极端和负极端；静电发生装置连接于电源，静电发生装置包括正电荷端头和电子端头本实用新型提出的传送机械手，利用库仑力对晶圆进行吸附，可实现多种规格的晶圆的传送，正电荷端头与电子端头沿同一预设路径交替设置，使得电场均匀分布，有助于晶圆均匀受力，保证晶圆稳定传送，还有助于减小对晶圆的损伤
传送机械手

[实用新型]传送机械手-CN202022158697.9有效
发明人：周亮 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2020-09-27 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体加工技术领域，提供一种传送机械手，包括：基体、电源和静电发生装置，基体包括用于支撑晶圆的支撑部；静电发生装置，包括正电荷端头和电子端头，所述正电荷端头和所述电子端头均设于所述支撑部，本实用新型提出的传送机械手，利用库仑力对晶圆进行吸附，可实现多种规格的晶圆的传送，可降低生产成本。
传送机械手

[实用新型]传送机械手-CN202221798353.7有效
发明人：邢建华;靳浩 -专利权人：东莞市麦迪工业装备有限公司
申请日： 2022-07-12 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： B21D43/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种传送机械手，包括安装座、送料机构以及升降机构，所述送料机构装设于所述安装座上，所述送料机构包括送料板、连接所述送料板的吸料组件以及连接所述送料板的送料驱动组件，所述送料板滑动设于所述安装座上
传送机械手

[实用新型]一种PCB双面丝印机-CN201620954405.3有效
发明人：黎达营 -专利权人：中山市金玛印刷机械有限公司
申请日： 2016-08-26 - 公布日： 2017-03-08 - 主分类号： B41F15/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种PCB双面丝印机，它涉及丝印机技术领域；机架的中部安装有两根机械手位移导向线性导轨，两根机械手位移导向线性导轨的中部设置有机械手位移传动滚珠丝杆，机械手位移传动滚珠丝杆的一端与机械手位移动力机构连接，机械手位移传动滚珠丝杆上的四个丝母座上分别安装有传送机械手一、传送机械手二、传送机械手三、传送机械手四；传送机械手一、传送机械手二、传送机械手三、传送机械手四均安装在机械手位移导向线性导轨上，且传送机械手一、传送机械手二、传送机械手三、传送机械手四分别设置在定位区、第一面印刷区、翻转区、第二面印刷区内；本实用新型便于实现快速传送与双面印刷，节省时间与人工，使用方便，操作简便。
一种 pcb 双面丝印

[实用新型]水管接头外螺纹注塑埋件机的传送机构-CN202121321336.X有效
发明人：丘荣兴;叶善织 -专利权人：江苏造裕智能装备有限公司
申请日： 2021-06-11 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： B29C45/14 文献下载
摘要：本实用新型水管接头外螺纹注塑埋件机的传送机构，其包括机架、垂直传送组件、传送机械手、注塑埋件传送机械手、金属件安置工位、水管接头安置工位与水管接头传送工位，传送机械手设置于机架上，垂直传送组件设置于传送机械手的一端，金属件安置工位、水管接头安置工位与水管接头传送工位依次并排设置于传送机械手的一侧，注塑埋件传送机械手固定于外部注塑机处，通过传送机械手将垂直传送组件上的金属件传送至金属件安置工位，再通过注塑埋件传送机械手将金属件传送至外部注塑机处注塑，形成水管接头，然后将水管接头传送至水管接头安置工位，最后通过传送机械手将水管接头传送至水管接头传送工位。本实用新型传送效率高，实用性强。
水管接头螺纹注塑埋件机传送机构

[实用新型]光学功能板自动化装卸装置-CN201920276989.7有效
发明人：黄海涛;张乾刚;刘晓东;朱新远 -专利权人：惠州市创亿达新材料有限公司
申请日： 2019-03-05 - 公布日： 2019-12-31 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光学功能板自动化装卸装置，包括显示器、第一传送机构、第二传送机构、第一机械手、第二机械手、第三机械手和装配盒，所述第一机械手、所述第二机械手和所述第三机械手均与所述显示器电性连接，所述第一机械手设置于所述第一传送机构一侧，所述第二机械手设置于所述第二传送机构一侧，所述装配盒置于所述第二机械手活动的范围内，所述第三机械手设置于所述第二传送机构远离所述第一机械手的一端；所述第二传送机构上设有装配挡板，所述第一传送机构的传送末端置于所述第二传送机构靠近所述装配挡板的一侧通过将人工装配改为机械手配合装配，避免了人工搬运装配时人为因素，有效降低损坏率，使生产过程更加准确和高效。
机械手传送机构装配挡板装配盒显示器本实用新型电性连接光学功能人工搬运人工装配人为因素生产过程装卸装置损坏率自动化传送配合

[发明专利]占用面积减小的晶片搬运平台-CN201980041184.7在审
发明人：克里斯多夫·W·伯克哈特;理查德·H·古尔德;坎迪·克里斯托弗森;迈克尔·诺丁;理查德·M·布兰克;安海博信 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2019-06-18 - 公布日： 2021-02-05 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：一种系统包含设备前端模块(EFEM)、真空传送模块(VTM)、多个四重站处理模块(QSM)。EFEM被构造成接收多个晶片。EFEM包含EFEM传送机械手。真空传送模块(VTM)被构造成从EFEM接收多个晶片。VTM包含VTM传送机械手。多个四重站处理模块(QSM)耦合至VTM。VTM传送机械手被构造成在VTM与多个QSM之间传送晶片。EFEM传送机械手被构造成在EFEM与VTM之间传送晶片。
占用面积减小晶片搬运平台

[发明专利]自动砌砖装置-CN201510827698.9在审
发明人：陈爽 -专利权人：浙江壳王机器人有限公司
申请日： 2015-11-25 - 公布日： 2016-05-04 - 主分类号： E04G21/22 文献下载
摘要：一种自动砌砖装置，其设有导轨机构，在导轨机构上设有基座，在基座上设有竖直的第一传送机构，在第一传送机构上连接有与之垂直的并可沿第一传送机构进行上下移动的第二传送机构，在第二传送机构上连接有可沿第二传送机构进行水平移动的夹砖机械手，在基座上设有放置待砌砖块的送砖器及控制第一传送机构、第二传送机构和夹砖机械手运动的控制器，控制器分别与第一传送机构、第二传送机构及夹砖机械手连接，当自动砌砖装置工作时，第一传送机构带动第二传送机构上下移动，第二传送机构在控制器的控制下带动夹砖机械手水平移动，使夹砖机械手移动至送砖器的上方而可夹取砖块，夹砖机械手夹取砖块后在控制器的控制下移动至待砌砖的位置而放下砖块。
自动砌砖装置

[发明专利]一种医用血液辐照设备的自动送取血杯装置-CN201310465859.5有效
发明人：高培军 -专利权人：深圳市华科核医疗技术有限公司
申请日： 2013-09-30 - 公布日： 2014-01-29 - 主分类号： A61M1/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种医用血液辐照设备的自动送取血杯装置，包括底座，所述底座包括相互垂直的传送机架和机械手安装平台构成;在传送机架上安装有传送机构，在传送机构上设置有用于放置血杯的血杯托盘;传送机构带动血杯托盘在传送机架上沿Y轴方向做直线往返运动；在机械手安装平台上设有机械手支架，在机械手支架上位于传送机架的一侧设有用于抓紧或松开血杯的机械手机构；在机械手安装平台上还设有用于驱动机械手支架沿X轴方向运动的X轴驱动机构和用于驱动机械手支架沿
一种医用血液辐照设备自动送取血杯装置

[实用新型]一种医用血液辐照设备的自动送取血杯装置-CN201320618492.1有效
发明人：高培军;田伟;高正贵 -专利权人：深圳市华科核医疗技术有限公司
申请日： 2013-09-30 - 公布日： 2014-03-12 - 主分类号： A61M1/36 文献下载
摘要：实用新型公开了一种医用血液辐照设备的自动送取血杯装置，包括底座，所述底座包括相互垂直的传送机架和机械手安装平台构成;在传送机架上安装有传送机构，在传送机构上设置有用于放置血杯的血杯托盘;传送机构带动血杯托盘在传送机架上沿Y轴方向做直线往返运动；在机械手安装平台上设有机械手支架，在机械手支架上位于传送机架的一侧设有用于抓紧或松开血杯的机械手机构；在机械手安装平台上还设有用于驱动机械手支架沿X轴方向运动的X轴驱动机构和用于驱动机械手支架沿
一种医用血液辐照设备自动送取血杯装置

[发明专利]具有基板冷却的传送机械手-CN201180006380.4在审
发明人：栗田真一;稻川真;松本隆之 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2011-01-14 - 公布日： 2012-10-03 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明的实施例提供一种传送机械手，所述传送机械手具有与所述传送机械手附接的冷却板，用于在处理腔室与负载锁定腔室之间传送时冷却基板。在一个实施例中，冷却板是单一、大面积的冷却板，所述冷却板在正被传送的基板下方附接至所述传送机械手。在另一实施例中，冷却板是在正被传送的基板下方附接至所述传送机械手的冷却板阵列。
具有冷却传送机械手

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